การเผาเซรามิกขั้นสูง คาร์ไบด์ หรือโลหะทนไฟต้องใช้เครื่องอัดที่ทำงานในสุญญากาศสูงที่อุณหภูมิ ซึ่งเหล็กทั่วไปสูญเสียความสมบูรณ์ของโครงสร้างและเริ่มปล่อยไอระเหยจำนวนมาก ในสภาวะที่รุนแรงเหล่านี้ แผ่นทำความร้อนจะกลายเป็นองค์ประกอบโครงสร้างหลักและความร้อนของระบบ การออกแบบของแผ่นทำความร้อนวัสดุกดเผาผนึกสูญญากาศสูงดังนั้นจึงต้องอาศัยวัสดุที่คงความเสถียร แข็งแรง และ-ปล่อยก๊าซออกต่ำเป็นพิเศษภายใต้สภาวะที่เกิน 1,000 องศาและระดับสุญญากาศลึก
ที่อุณหภูมิเหล่านี้ แท่นวางเป็นชิ้นส่วนเรืองแสงของอาณาจักรแร่เดียวกันกับที่ดำเนินการ โดยต้องเลือกวัสดุจากองค์ประกอบที่ทนไฟได้มากที่สุดในทางปฏิบัติทางวิศวกรรม
สภาพการทำงานที่รุนแรงในการเผาผนึกสุญญากาศ
เครื่องเผาผนึกสุญญากาศสูง-ใช้สำหรับเพิ่มความหนาแน่นของวัสดุที่ต้องใช้:
บรรยากาศที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ-
โปรไฟล์ความร้อนที่แม่นยำเหนือ 1,000 องศา
ควบคุมการใช้แรงดันระหว่างการเผาผนึก
มีการปนเปื้อนจากวัสดุเครื่องมือน้อยที่สุด
สภาวะสุญญากาศกำจัดการเกิดออกซิเดชัน แต่มีข้อจำกัดที่เข้มงวดเกี่ยวกับความผันผวนของวัสดุและพฤติกรรมการปล่อยก๊าซ
เหตุใดโลหะมาตรฐานจึงล้มเหลว
สแตนเลสและโลหะผสมนิกเกิลทั่วไปไม่เหมาะสมเนื่องจาก:
ความแข็งแรงทางกลลดลงอย่างรวดเร็วเหนือ ~800–900 องศา
การปล่อยก๊าซออกมาอย่างมีนัยสำคัญเกิดขึ้นภายใต้สุญญากาศ
การปนเปื้อนบนพื้นผิวสามารถถ่ายโอนเข้าสู่ชิ้นงานได้
การคืบคลานของโครงสร้างจะรุนแรงเมื่อรับภาระ
ข้อจำกัดเหล่านี้จำเป็นต้องเปลี่ยนมาใช้โลหะทนไฟและวัสดุที่มีคาร์บอน-
การเลือกวัสดุแผ่นทำความร้อนสำหรับเครื่องอัดเผาผนึกสุญญากาศสูง
การเลือกใช้วัสดุสำหรับกแผ่นทำความร้อนวัสดุกดเผาผนึกสูญญากาศสูงขับเคลื่อนด้วยความเสถียรทางความร้อน ความแข็งแรงทางกล และความเข้ากันได้ของสุญญากาศ
กราไฟท์เป็นวัสดุแท่นวาง
กราไฟท์ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับแผ่นเผาผนึกสุญญากาศ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในระบบที่มีอุณหภูมิปานกลางถึงสูง
คุณสมบัติที่สำคัญของกราไฟท์
มีเสถียรภาพที่อุณหภูมิสูงถึงประมาณ 2,500 องศาในสภาพแวดล้อมเฉื่อยหรือสุญญากาศ
ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อนได้ดีเยี่ยม
ความสามารถในการแปรรูปสูงสำหรับรูปทรงแท่นที่ซับซ้อน
ต้นทุนค่อนข้างต่ำเมื่อเทียบกับโลหะทนไฟ
แผ่นกราไฟท์มักใช้ใน:
ระบบกดร้อน
เตาหลอมโลหะผง
เครื่องอัดความหนาแน่นเซรามิก
แม้จะมีข้อดี แต่กราไฟต์ก็มีรูพรุน และต้องได้รับการทำให้บริสุทธิ์และบำบัดอย่างระมัดระวังเพื่อลดการปล่อยก๊าซออก
โมลิบดีนัมและทังสเตนสำหรับแผ่นอัลตรา-ที่อุณหภูมิสูง
สำหรับการใช้งานการเผาผนึกที่มีความต้องการมากที่สุด จะต้องใช้โลหะทนไฟ เช่น โมลิบดีนัมและทังสเตน
คุณสมบัติของโมลิบดีนัม
จุดหลอมเหลว: ประมาณ 2620 องศา
มีความแข็งสูงที่อุณหภูมิสูง
การนำความร้อนที่ดีเมื่อเทียบกับเซรามิก
ความเสถียรของมิติที่ดีเยี่ยมในสุญญากาศ
คุณสมบัติของทังสเตน
จุดหลอมเหลว: ประมาณ 3422 องศา
อุณหภูมิสูงเป็นพิเศษ-แข็งแกร่ง
มีความหนาแน่นและความแข็งสูงมาก
ความต้านทานการคืบคลานที่เหนือกว่า
ที่อุณหภูมิเหล่านี้ แท่นจะเป็นชิ้นส่วนเรืองแสงของอาณาจักรแร่เดียวกันกับที่ดำเนินการ โดยมีลักษณะเฉพาะของวัสดุพื้นฐานร่วมกับส่วนประกอบที่เผาด้วยตัวมันเอง
ข้อจำกัดที่สำคัญ
โมลิบดีนัมไม่สามารถใช้ในบรรยากาศออกซิไดซ์ได้ ออกซิเดชันอย่างรวดเร็วเกิดขึ้นที่อุณหภูมิสูง นำไปสู่การย่อยสลายวัสดุอย่างหายนะ ด้วยเหตุนี้ ระบบโมลิบดีนัมและทังสเตนจึงต้องดำเนินการเฉพาะใน:
สภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง
บรรยากาศก๊าซเฉื่อย (อาร์กอน ฮีเลียม)
ควบคุมเงื่อนไขการลด
เทคโนโลยีองค์ประกอบความร้อนในแผ่นสูญญากาศ
การทำความร้อนในเครื่องอัดซินเตอร์แบบสูญญากาศสูง-ทำได้โดยใช้องค์ประกอบที่ทนไฟ-
เครื่องทำความร้อนลวดโมลิบดีนัม
ลวดโมลิบดีนัมมักใช้เนื่องจากเข้ากันได้กับสภาพแวดล้อมที่เป็นสุญญากาศและอุณหภูมิสูง- มันสามารถ:
ฝังอยู่ภายในโครงสร้างกราไฟท์
แขวนอยู่หลังโล่ส่องแสง
รวมเข้ากับชุดประกอบแท่นวาง
องค์ประกอบซิลิคอนคาร์ไบด์
บางครั้งมีการใช้แท่งซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ในระบบสุญญากาศหรือระบบเปลี่ยนผ่านที่ต่ำกว่า องค์ประกอบเหล่านี้ทำงานเป็นหลักในฐานะเครื่องทำความร้อนแบบกระจายและถูกวางตำแหน่งไว้ภายนอกพื้นผิวแท่นวาง
การครอบงำความร้อนจากการแผ่รังสี
ในสภาพแวดล้อมที่มีสุญญากาศสูง- การพาความร้อนไม่มีนัยสำคัญ การถ่ายเทความร้อนถูกครอบงำโดย:
การแผ่รังสีจากองค์ประกอบเครื่องทำความร้อน
การนำผ่านโครงสร้างแท่น
ระบบสะท้อนความร้อนสะท้อน
การควบคุมการปล่อยก๊าซออกและความเข้ากันได้ของสุญญากาศ
ความบริสุทธิ์ของวัสดุเป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่งในระบบการเผาผนึกสุญญากาศ เนื่องจากก๊าซที่ปล่อยออกมาใดๆ อาจทำให้คุณภาพสุญญากาศลดลงและปนเปื้อนผลิตภัณฑ์ที่เผาผนึกได้
แหล่งที่มาของการปนเปื้อน
แหล่งที่มาของการปนเปื้อนทั่วไป ได้แก่ :
สารอินทรีย์ตกค้างจากน้ำมันเครื่อง
ดูดซับความชื้นในบรรยากาศ
สิ่งเจือปนที่ระเหยง่ายในวัสดุฐาน
ออกไซด์ของพื้นผิวและสารประกอบคาร์บอน
การอบสุญญากาศ-ขั้นตอนออก
ก่อนการใช้งานจริง โดยทั่วไปชุดประกอบแท่นวางจะต้องผ่านการควบคุมการอบออก-
ในระหว่างกระบวนการนี้:
แท่นวางถูกให้ความร้อนภายใต้สภาวะสุญญากาศ
อุณหภูมิสูงขึ้นเหนือระดับการทำงานที่ตั้งใจไว้
ชนิดที่ระเหยง่ายจะถูกขับออกจากเมทริกซ์วัสดุ
ก๊าซที่ตกค้างจะถูกอพยพออกจากระบบ
ขั้นตอนการปรับสภาพล่วงหน้านี้มีความสำคัญเพื่อให้แน่ใจว่าประสิทธิภาพการทำงานของสุญญากาศจะคงที่ในระหว่างรอบการผลิต
ข้อควรพิจารณาในการออกแบบทางความร้อนและทางกล
แท่นวางอุณหภูมิสูง-ต้องรักษาความเสถียรของขนาดภายใต้ภาระความร้อนและแรงดันเชิงกล
การจัดการการขยายตัวทางความร้อน
กราไฟท์และโลหะทนไฟมีลักษณะการขยายตัวเนื่องจากความร้อนที่แตกต่างกัน การออกแบบระบบต้องรองรับ:
การขยายตัวที่สม่ำเสมอบนพื้นผิวแท่นวางขนาดใหญ่
การหลีกเลี่ยงความเข้มข้นของความเครียดจากความร้อน
ควบคุมการไล่ระดับความร้อนระหว่างทางลาด-ขึ้นและเย็นลง-
ข้อกำหนดการรับน้ำหนัก
ในการใช้งานการอัดร้อน แท่นวางยังทำหน้าที่เป็นส่วนประกอบรับน้ำหนักทางโครงสร้าง- การเลือกใช้วัสดุจึงต้องคำนึงถึง:
ต้านทานการคืบคลานภายใต้แรงกดดันอย่างต่อเนื่อง
โมดูลัสยืดหยุ่นที่อุณหภูมิการทำงาน
ความคงตัวในการเปลี่ยนรูปในระยะยาว-
ภาพรวมการเลือกวัสดุเปรียบเทียบ
| วัสดุ | อุณหภูมิสูงสุด | ความเข้ากันได้ของสุญญากาศ | ความแข็งแรงทางกล | การใช้งานทั่วไป |
|---|---|---|---|---|
| กราไฟท์ | ~2500 องศา | ดีเยี่ยม (ในสุญญากาศ/เฉื่อย) | ปานกลาง | แผ่นเผาผนึกทั่วไป |
| โมลิบดีนัม | ~2620 องศา | ดีเยี่ยม (ไม่-ออกซิไดซ์เท่านั้น) | สูง | เครื่องอัดที่มีความแม่นยำสูง- |
| ทังสเตน | ~3422 องศา | ดีเยี่ยม (ไม่-ออกซิไดซ์เท่านั้น) | สูงมาก | ระบบอุณหภูมิสุดขั้ว- |
บูรณาการกระบวนการและสถาปัตยกรรมระบบ
โดยทั่วไประบบแผ่นทำความร้อนจะรวมอยู่ในชุดประกอบเตาเผาที่ซับซ้อน-ซึ่งประกอบด้วย:
ระบบควบคุมความร้อนแบบหลาย-โซน
ระบบปั๊มสุญญากาศ (สุญญากาศสูงและพิเศษ-)
กองป้องกันรังสี
ระบบอัดไฮดรอลิกหรือเครื่องกล
เครือข่ายการตรวจสอบอุณหภูมิที่แม่นยำ
แต่ละระบบย่อยต้องได้รับการออกแบบเพื่อรักษาเสถียรภาพภายใต้สภาวะความร้อนและสุญญากาศที่รุนแรง
บทสรุป
การเลือกแผ่นทำความร้อนสำหรับเครื่องอัดซินเทอร์แบบสุญญากาศที่อุณหภูมิสูง- ถือเป็นการตัดสินใจทางวิศวกรรมวัสดุที่รุนแรงที่สุดประการหนึ่งในการออกแบบการประมวลผลด้วยความร้อน กราไฟต์ โมลิบดีนัม และทังสเตน ต่างก็มีการผสมผสานที่เป็นเอกลักษณ์ของความเสถียรทางความร้อน ความแข็งแรงเชิงกล และความเข้ากันได้แบบสุญญากาศ ทำให้สามารถทำงานที่อุณหภูมิที่วัสดุโครงสร้างส่วนใหญ่จะเสียหายได้
A แผ่นทำความร้อนวัสดุกดเผาผนึกสูญญากาศสูงจึงเป็นระบบเฉพาะทางที่มีมูลค่าสูง- ที่สร้างขึ้นจากองค์ประกอบที่สามารถอยู่รอดได้ในสภาวะสุดขั้วแบบเดียวกับที่พวกเขาช่วยสร้าง การเลือกวัสดุในโดเมนนี้เป็นการศึกษาขีดจำกัดบนของตารางธาตุโดยพื้นฐาน โดยที่ประสิทธิภาพถูกกำหนดโดยความเสถียรของวัสดุทนไฟและพฤติกรรมสุญญากาศสูง-เป็นพิเศษ
กระบวนการผลิตที่ร้อนแรงที่สุดได้รับการกำหนดรูปแบบโดยใช้เครื่องมือที่สร้างขึ้นจากรากฐานที่เป็นองค์ประกอบเดียวกันกับสภาพแวดล้อมที่รุนแรงที่สุดในธรรมชาติ ซึ่งขีดจำกัดด้านความร้อนและโครงสร้างมาบรรจบกันที่ขอบของความเป็นไปได้ของวัสดุ

