โรงงานเซมิคอนดักเตอร์จำเป็นต้องมีเครื่องทำความร้อนแบบจุ่ม PTFE แบบกำหนดเองสำหรับถังกระบวนการแบบตั้งโต๊ะแบบเปียก เครื่องทำความร้อนได้รับการออกแบบอย่างถูกต้องสำหรับงานระบายความร้อน เคมี และข้อจำกัดด้านพื้นที่ ติดตั้งและดำเนินการได้สำเร็จเป็นเวลาสามเดือน จากนั้นแผนกคุณภาพของ Fab ก็ขอเอกสารสำหรับการตรวจสอบลูกค้า ซัพพลายเออร์เครื่องทำความร้อนไม่สามารถให้การตรวจสอบย้อนกลับของวัสดุ การรับรองพื้นผิว หรือข้อมูลที่แยกออกมาได้ เครื่องทำความร้อนถูกถอดออกจนกว่าจะได้รับเอกสารประกอบ
โรงงานเซมิคอนดักเตอร์มีข้อกำหนดด้านเอกสารและการรับรองที่นอกเหนือไปจากข้อกำหนดทางไฟฟ้าและความร้อนของเครื่องทำความร้อน ข้อกำหนดครอบคลุมถึงความบริสุทธิ์ของวัสดุ การตกแต่งพื้นผิว การสกัดได้ และการตรวจสอบย้อนกลับ เครื่องทำความร้อนแบบแช่ PTFE แบบกำหนดเองสำหรับบริการเซมิคอนดักเตอร์ต้องเป็นไปตามข้อกำหนดเหล่านี้ และซัพพลายเออร์จะต้องจัดเตรียมเอกสารประกอบเพื่อพิสูจน์
การตรวจสอบย้อนกลับของวัสดุและความบริสุทธิ์
PTFE ที่ใช้ในเครื่องทำความร้อนเซมิคอนดักเตอร์จะต้องตรวจสอบย้อนกลับไปยังล็อตเรซิน ซัพพลายเออร์จะต้องจัดเตรียมใบรับรองการวิเคราะห์ (CoA) สำหรับโพลีเมอร์ ซึ่งแสดงหมายเลขล็อต ผู้ผลิต และคุณสมบัติหลัก-น้ำหนักโมเลกุล ความเป็นผลึก และระดับสิ่งเจือปน
PTFE ต้องเป็นโพลีเมอร์บริสุทธิ์ที่ยังไม่ได้เติม ไม่อนุญาตให้เติม PTFE-ที่ประกอบด้วยแก้ว คาร์บอน หรือสารเติมแต่งอื่นๆ- เนื่องจากสารตัวเติมสามารถชะลงไปในอ่างกระบวนการได้ โพลีเมอร์ต้องเป็นไปตามข้อกำหนดด้านความบริสุทธิ์ของกระบวนการ โดยทั่วไปจะมีไอออนที่สกัดได้ต่ำกว่าขีดจำกัดที่ระบุ
| เอกสารประกอบ | สิ่งที่รับรอง | ข้อกำหนดทั่วไป |
|---|---|---|
| เรซินโคเอ | การตรวจสอบย้อนกลับจำนวนมาก คุณสมบัติ | น้ำหนักโมเลกุล ระดับสิ่งเจือปน |
| การรับรองวัสดุ | Virgin PTFE ไม่มีสารตัวเติม | PTFE บริสุทธิ์ 100% |
| รายงานสารสกัด | การปนเปื้อนของไอออนิก | <50 ppb per ion |
| รายงานการตกแต่งพื้นผิว | ค่ารา | <0.4 μm Ra |
| การตรวจสอบมิติ | การปฏิบัติตามความอดทน | ต่อรูปวาด |
เอกสารการตรวจสอบย้อนกลับของวัสดุและความบริสุทธิ์สำหรับเครื่องทำความร้อน PTFE แบบเซมิคอนดักเตอร์
การตกแต่งพื้นผิวและความสะอาด
กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ต้องการพื้นผิวที่เรียบและสะอาดซึ่งไม่ดักจับอนุภาคหรือปล่อยสารปนเปื้อน ปลอก PTFE ต้องมีผิวสำเร็จ 0.4 μm Ra หรือดีกว่า พื้นผิวที่ขรุขระสามารถกักเก็บอนุภาคและส่งเสริมการก่อตัวของฟิล์มชีวะ
เครื่องทำความร้อนต้องได้รับการทำความสะอาดและเคลือบก่อนการติดตั้ง กระบวนการทำความสะอาดจะขจัดสิ่งตกค้างจากการผลิต น้ำมัน และอนุภาคต่างๆ กระบวนการสร้างฟิล์มช่วยให้แน่ใจว่าพื้นผิวมีความเฉื่อยทางเคมี และไม่ปล่อยสิ่งปนเปื้อนเข้าสู่อ่างกระบวนการ
รายงานการตกแต่งพื้นผิวและใบรับรองการทำความสะอาดจะบันทึกความสะอาดของเครื่องทำความร้อน รายงานควรระบุวิธีการวัด สถานที่เก็บตัวอย่าง และผลลัพธ์
การทดสอบสารสกัดและสารชะล้าง
การทดสอบสารแยกได้จะวัดการปล่อยไอออน สารอินทรีย์ และอนุภาคจากเครื่องทำความร้อนไปยังของไหลในกระบวนการ การทดสอบเกี่ยวข้องกับการจุ่มเครื่องทำความร้อนในน้ำบริสุทธิ์พิเศษหรือของเหลวในกระบวนการผลิตที่อุณหภูมิการทำงานตามระยะเวลาที่กำหนด จากนั้นจึงวิเคราะห์ของเหลวเพื่อหาสารปนเปื้อน
ข้อจำกัดในการแตกไฟล์ขึ้นอยู่กับกระบวนการ สำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่สำคัญ ขีดจำกัดอาจอยู่ในช่วงส่วนต่ำ-ต่อ-ช่วงพันล้านสำหรับโลหะและสารอินทรีย์ รายงานการทดสอบจะบันทึกผลลัพธ์และรับรองว่าเครื่องทำความร้อนมีคุณสมบัติตรงตามข้อกำหนดของกระบวนการ
| ทดสอบ | มันวัดอะไร | ขีดจำกัดทั่วไป | วิธี |
|---|---|---|---|
| สารสกัดโลหะ | เฟ, Cu, Ni, Cr, Zn | <50 ppb each | ไอซีพี-MS |
| สารสกัดออร์แกนิก | TOC สารอินทรีย์จำเพาะ | <100 ppb TOC | HPLC, GC-MS |
| การปล่อยอนุภาค | Particles >0.2 μm | <100 particles/L | เครื่องนับอนุภาคของเหลว |
| สารสกัดประจุลบ | Cl⁻, F⁻, SO₄²⁻ | <50 ppb each | ไอออนโครมาโตกราฟี |
ข้อกำหนดในการทดสอบการแยกสารสำหรับเครื่องทำความร้อน PTFE แบบเซมิคอนดักเตอร์
การรับรองระบบไฟฟ้าและความปลอดภัย
เครื่องทำความร้อนต้องเป็นไปตามข้อกำหนดด้านความปลอดภัยทางไฟฟ้าของโรงงาน ในอเมริกาเหนือ โดยทั่วไปหมายถึงรายการ UL หรือ ETL ในยุโรป หมายถึงเครื่องหมาย CE ที่สอดคล้องกับคำสั่งที่เกี่ยวข้อง
กล่องหุ้มขั้วต่อต้องเป็นไปตามระดับการป้องกันทางเข้าที่เหมาะสม-โดยทั่วไปคือ IP66 หรือ NEMA 4X เครื่องทำความร้อนต้องเข้ากันได้กับระบบป้องกันข้อผิดพลาดของกราวด์ของโรงงาน
| การรับรอง | ภูมิภาค | ครอบคลุมอะไรบ้าง | ข้อกำหนดทั่วไป |
|---|---|---|---|
| UL499 | ทวีปอเมริกาเหนือ | ความปลอดภัยทางไฟฟ้า | จดทะเบียนหรือได้รับการยอมรับ |
| ซีอี | ยุโรป | ความปลอดภัย อีเอ็มซี | การทำเครื่องหมายและการประกาศ |
| IP66 | ระหว่างประเทศ | การป้องกันทางเข้า | ตู้เทอร์มินัล |
| เอเท็กซ์ | ยุโรป | กันระเบิด- | หากเกิดบรรยากาศไวไฟ |
| กึ่ง S2 | เซมิคอนดักเตอร์ | แนวทางด้านความปลอดภัย | ข้อกำหนด Fab |
การรับรองด้านไฟฟ้าและความปลอดภัยสำหรับเครื่องทำความร้อน PTFE แบบเซมิคอนดักเตอร์
แพ็คเกจการตรวจสอบย้อนกลับและเอกสารประกอบ
แพคเกจเอกสารประกอบสำหรับเครื่องทำความร้อนเซมิคอนดักเตอร์ประกอบด้วยการรับรองวัสดุ รายงานการตกแต่งพื้นผิว รายงานการทดสอบการแยกสารได้ การรับรองทางไฟฟ้า และรายงานการตรวจสอบขนาด บรรจุภัณฑ์จะต้องตรวจสอบย้อนกลับไปยังหมายเลขซีเรียลของเครื่องทำความร้อนเฉพาะ
แพคเกจได้รับการตรวจสอบโดยแผนกคุณภาพของ fab ก่อนที่จะยอมรับเครื่องทำความร้อน เอกสารที่ไม่สมบูรณ์อาจทำให้การติดตั้งล่าช้าหรือส่งผลให้ถูกปฏิเสธ
เมื่อเครื่องทำความร้อนมาตรฐานไม่ตรงตามข้อกำหนดด้านเอกสาร
เครื่องทำความร้อนแบบจุ่ม PTFE มาตรฐานไม่ได้มาพร้อมกับแพ็คเกจเอกสารที่จำเป็นสำหรับการบริการเซมิคอนดักเตอร์ เครื่องทำความร้อนแบบจุ่ม PTFE แบบกำหนดเองที่ออกแบบมาสำหรับการบริการเซมิคอนดักเตอร์ประกอบด้วยเอกสาร การทดสอบ และการตรวจสอบย้อนกลับที่จำเป็น กระบวนการกำหนดคุณสมบัติต้องใช้เคมีของกระบวนการ ข้อกำหนดด้านความบริสุทธิ์ ข้อกำหนดคุณสมบัติการตกแต่งพื้นผิว ขีดจำกัดในการสกัด และใบรับรองทางไฟฟ้า
